Industrie du Semi-conducteur:

L’industrie du semi-conducteur est co-inventeur avec l’industrie chimique de l’approche MES. Etant donné la technicité et la précision du procédé, il fut indispensable de créer un outil pour s’assurer en priorité que le procédé était toujours exécuté correctement.

Il s’est avéré ensuite que gardant en mémoire tous les événements passés et ayant une vision instantanée de toute la production, le MES permettait d’accroître les performances toujours un peu plus.

 

Pour le procédé Front End, fabrication de wafers, chaque étape fine du process est modélisée, avec intégration profonde (parfois totale) de l’automation ( Bus Message, VFEI) et des équipements groupés (Clusters Tools) . Le rendement de tous les wafers est suivi à chaque opération. Grâce au contrôle statistique (SPC), le process est piloté comme un "jet", des actions correctives sont menées bien avant qu’il ne "décroche".

 

Le logiciel MES est aussi utilisé pour le test final et l’assemblage (Back End), il mesure le rendement par unité (wafers, puces). Avant la découpe, il permet d’identifier les bonnes puces sur chaque wafer. Il gère les équipements de test (probers, testers).

 

Les produits MES modernes permettent de gérer automatiquement le mouvement des lots entre les opérations ( Material Handling).

 

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